Mga Advanced na IGS Surface Mount C-Seal Filter para sa mga Ultra-Pure Semiconductor Gas System
Paglalarawan
Ang mga HENGKO Surface Mount Filter ay dinisenyo upang matugunan ang mga hinihingi ng integrated gas system na ginagamit sa mga semiconductor OEM tool. Nag-aalok ng nangungunang pagsasala sa industriya na 0.003 µm, tinitiyak ng mga filter na ito ang pambihirang pagganap at pagiging maaasahan na may kahusayan sa particle interception na ≥99.9999999% (9-LRV) sa 120 slpm.
Ginawa mula sa matibay na 316L stainless steel powder na sintered para sa filter element at housing, ang mga filter na ito ay sumusunod sa mga ispesipikasyon ng SEMI F86-0304, na nagtatampok ng mga two-port component na iniayon para sa 1.125” gas distribution system na may C-seal configuration. Sinusuportahan nila ang maximum inlet pressure na 3.4 MPa sa 100°C at isang maximum operating pressure differential na 0.69 MPa sa 100°C.
Ang mga espesyalisadong pansala na ito, na tugma sa parehong mga detalye ng selyo na uri-C at uri-W, ay nakakamit ng kalinisan sa ibaba ng agos sa pamamagitan ng paglabas ng mga partikulo ng
May ibabaw na gawa sa Ra< 1.6 µm sa labas at Ra< 0.13 µm sa loob, dinisenyo ang mga ito upang mapaglabanan ang mataas na temperatura hanggang 460°C. Ginawa para sa madaling pagsasama at mga pag-upgrade sa modular na disenyo, pinapadali ng mga filter na ito ang pag-install at pagpapanatili, na tumutulong na ma-optimize ang pagganap ng sistema sa mga aplikasyon ng paghahatid at pagkontrol ng semiconductor gas.
Tampok ng Produkto
▶ Kabuuang konstruksyon na 316L hindi kinakalawang na asero
▶ Pinaliit na disenyo, siksik na istraktura, nakakatipid ng espasyo
▶ Napakahusay na mga katangian ng pagpapalit at pag-aalis ng gas
▶ Mataas na temperatura, mataas na presyon, at lumalaban sa kalawang
▶ Pabahay na gawa sa electro-polished na 316L na hindi kinakalawang na asero
▶ Madali at mahusay na pag-install at pagpapanatili
▶ Mekanikal na pagbubuklod, hindi hinang sa medium ayon sa istruktura
Datasheet
| Mga Teknikal na Parameter | Mga Halaga |
|---|---|
| Materyal ng Elemento ng Filter | 316L Hindi Kinakalawang na Asero Sintered Powder |
| Materyal ng Pabahay | 316L Hindi Kinakalawang na Bakal |
| Pinakamataas na Presyon ng Papasok | 3.4 MPa @ 100°C |
| Pinakamataas na Operating Differential | 0.69 MPa @ 100°C |
| Rate ng Pagtulo sa Pag-verify ng Helium | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Bilis ng Pagtulo sa Pagsubok ng Helium | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Paggamot sa Ibabaw | Panlabas na Ibabaw Ra< 1.6 µm |
| Panloob na Ibabaw Ra< 0.13 µm | |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 460°C |
| Kahusayan sa Pagharang ng Partikulo | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Sangguniang MPPS, lahat ng partikulo) |
| Kalinisan sa Ibaba ng Agos | Paglabas ng Partikulo:< 0.03 partikulo/litro (< 1 partikulo/ft³) |
| Mga pabagu-bago ng isip:< 10 ppb na kahalumigmigan | |
| Laki ng Pagharang ng Partikulo | ≥0.003 μm |
| Saklaw ng Daloy | 0 ~ 120 slpm |
Sukat
Narito ang numero ng bahagi na maaari mong i-order at mga detalye ng laki:
| Modelo ng Produkto | Bilis ng Daloy | Taas H (mm) | Katumpakan ng Pagsasala | Antas ng Paglilinis |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Karaniwang mga Aplikasyon
Para gamitin sa W-seal at C-seal, 1.125” at 1.5” surface mount modular gas delivery systems.
Ipadala ang iyong mensahe sa amin:
