Temperature and Humidity Sensor para sa Semiconductor Clean Room Temperature Humidity Control Scheme
Palabas ng Produkto
Ang temperaturaatAng kahalumigmigan ng malinis na espasyo ay pangunahing tinutukoy ayon sa mga kinakailangan sa proseso, ngunit sa ilalim ng kondisyon ng pagtugon sa mga kinakailangan sa proseso, ang pakiramdam ng kaginhawaan ay dapat isaalang-alang.Sa pagpapabuti ng mga kinakailangan sa kalinisan ng hangin, nagkaroon ng trend ng higit at mas mahigpit na mga kinakailangan para sa temperatura at halumigmig.
Habang ang katumpakan ng pagpoproseso ay mas at mas pinong, kaya ang hanay ng pagbabagu-bago ng temperatura ay mas mababa at mas mababa.Halimbawa, sa proseso ng pagkakalantad sa lithographic ng malakihang integrated circuit production, ang pagkakaiba ng koepisyent ng thermal expansion sa pagitan ng salamin at silicon na wafer bilang mask na materyal ay kinakailangang maging mas maliit at mas maliit.Diameter 100 um silicon wafer, pagtaas ng temperatura ng 1 degree, ay magiging sanhi ng 0.24um linear expansion, kaya dapat mayroong temperatura na ± 0.1 degree, sa parehong oras ang halaga ng halumigmig ay karaniwang mababa, dahil ang mga tao ay pawis, ang produkto ay magkakaroon ng polusyon, lalo na natatakot sa sodium semiconductor workshop, ang workshop na ito ay hindi dapat lumampas sa 25 degrees.
Ang mataas na kahalumigmigan ay nagdudulot ng mas maraming problema.Kapag lumampas sa 55% ang relatibong halumigmig, mabubuo ang hamog sa dingding ng nagpapalamig na tubo ng tubig, na magdudulot ng iba't ibang aksidente kung ito ay mangyayari sa mga precision device o circuit.Kapag ang relative humidity ay 50%, madali itong kalawangin.Bilang karagdagan, kapag ang halumigmig ay masyadong mataas, ang alikabok na dumikit sa ibabaw ng silicon chip ay chemically adsorbed sa ibabaw upang pigilan ang pagtanggal.Kung mas mataas ang kamag-anak na kahalumigmigan, ang pagdirikit ay mahirap alisin, ngunit kapag ang kamag-anak na halumigmig ay mas mababa sa 30%, ang mga particle ay madaling mag-adsorb sa ibabaw dahil sa pagkilos ng electrostatic force, at ang isang malaking bilang ng mga semiconductor device ay madaling kapitan ng pagkasira.Ang pinakamainam na hanay ng temperatura para sa paggawa ng wafer ay 35-45%.
Samakatuwid, ang kontrol ng temperatura at halumigmig ay partikular na mahalaga, ang HENGKO ay maaaring magbigay sa iyo ng isang serye ngtemperatura at halumigmig transmiter customized na mga solusyon sa pagpoproseso!
Temperature and Humidity Sensor para sa Semiconductor Clean Room Temperature Humidity Control Scheme
Hindi makahanap ng produkto na nakakatugon sa iyong mga pangangailangan?Makipag-ugnayan sa aming sales staff para saMga serbisyo sa pagpapasadya ng OEM/ODM! 
